Quadrant의 Techtron HPV PPS 원통형로드는 반도체 장비 비용을 줄입니다.

July 17, 2023

Quadrant의 Techtron PPS는 성능을 최적화하고 반도체 장비 제조 비용을 줄입니다.
Techtron HPV PPS Cylindrical Rod

그 중 QEPP의 TechTron PPS는 화학 기계적 평면화 (CMP) 운영에 사용되는 고리를 유지하기위한 산업 표준 자료입니다. CMP 공정은 연마제 화학 활성 슬러리를 사용하여 부분적으로 가공 된 웨이퍼의 미세 오토 그래피를 평평하게하여 후속 공정이 평평한 표면에서 시작될 수 있도록합니다. PPS 고리 링은 CMP 공정에서 웨이퍼를 제자리에 유지하며, 웨이퍼는 연마제 화학 물질과 스트레스에 반복적으로 노출되며 주기적으로 교체해야합니다.

TechTron PPS로 만든 고리를 유지하면 타이트한 차원 제어, 우수한 화학 저항성, 고강도 및 슬러리에 대한 우수한 내마모성 저항성을 제공하여 CMP 장비 사용자의 소모품 비용을 최소화합니다.

TechTron PPS 자료는 재고 모양으로 제공됩니다. 치수 안정성이 우수하고 잔류 응력이 낮아서 매우 단단한 공차로 매우 평평하게 가공 할 수 있습니다. 그러나 가장 중요한 것은 플레이크가 아니라는 점에서 연마 적 핸들링 응용 프로그램에서 눈에 띄는 미립자를 생성하지 않는다는 것을 의미합니다.

QEPP의 가공 가능한 플라스틱은 반도체 장치를 제조하는 데 사용되는 많은 프로세스 및 도구에서 일반적으로 사용되는 비품입니다. Quadrant는 장비 제조업체와의 파트너십을 통해 반도체 장치 제조에 중요한 성능 품질을 제공하는 다양한 플라스틱 재료와 빈 모양을 개발했습니다. 이러한 특성에는 제어 된 정적 소산, 낮은 팽창 계수, 고강도 및 열 및 화학 저항이 포함됩니다. 또한 가공을위한 사분면의 빈 모양은 플라스틱이 아닌 플라스틱으로 만들어졌으며, 웨이퍼 및 반도체 장치를 처리하는 비품뿐만 아니라 하드 드라이브 제조 및 어셈블리 공정에 사용되는 구성 요소에 이상적입니다.

Ertalon®, Nylatron®, Ertacetal®, Ertalyte®, Cestidur®, Techtron®, Ketron®, Fluorosint® 및 Semitron®은 사분면 그룹의 등록 상표입니다.

Dark blue 25mm rod(1)

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Ms. Tina

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