엿보기 웨이퍼 홀더 | 반도체 제조를위한 효율적인 클램핑 솔루션

January 02, 2025

글로벌 통합 회로 제조 분야에서 용량 제약이 표준이되어 지난 2 년간 통합 회로 관련 분야에 대한 중국의 투자가 크게 증가했습니다. 이 투자 붐은 반도체 장치 장비, 전자 부품 및 전자 특수 재료 제조 산업을 급격히 촉진 할뿐만 아니라 Peek와 같은 고성능 재료에 대한 수요가 급증했습니다.

반도체 제조 공정에서 우수한 고온 저항, 내마모성, 차원 안정성, 화학 저항 및 처리 용이성을 갖춘 엿보기 재료는 비교할 수없는 이점을 보여주었습니다. 특히 웨이퍼 클램핑 분야에서 엿보기 웨이퍼 클램프는 고유 한 특성으로 인해 반도체 제조에 이상적인 도구가되었습니다. 그것은 웨이퍼의 무결성을 보장 할뿐만 아니라 생산 효율성과 수율을 크게 향상시킵니다. 따라서 반도체 산업에서는 엿보기 웨이퍼 클램프가 점점 더 많은 관심을 받고 있으며 널리 사용됩니다.

엿보기 웨이퍼 클램프의 핵심 장점은 다음과 같습니다.

비 폴 루팅 클램핑

엿보기 웨이퍼 클램프는 변형 된 엿봄 입자로 만들어졌으며, 이는 매우 순수하며 실리콘 웨이퍼를 오염시킬 수있는 미량 원소가 거의 없어 클램핑 공정에서 절대 안전을 보장합니다.

반 정적 보호

Peek Wafer Clamps는 우수한 항 정적 특성, 표면 저항력이 최대 105-1010Ω이며 척 부분은 107-108Ω만큼 높아 실리콘 웨이퍼 손상의 순간 정전기 방전을 효과적으로 방지하여 웨이퍼에 대한 전체 범위의 보호 기능을 제공합니다. .

고온 안정성

엿보는 웨이퍼 클램프는 260 ℃의 고온 환경에서 오랫동안 사용될 수 있으며, 높은 강도, 치수 안정성 및 작은 선형 확장 계수를 유지할 수 있습니다. 그것은 슬라이딩 마모 및 마이크로 모션 마모에 대한 저항성이 뛰어나며, 웨이퍼와 실리콘 웨이퍼를 클램핑 할 때 표면에 긁힘이나 잔류 물을 생성하지 않으므로 웨이퍼와 실리콘 웨이퍼의 표면 청결을 보장합니다.

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작가:

Ms. Tina

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